Keithley 自動參數(shù)測試系統(tǒng) Keithley 參數(shù)分析系統(tǒng)分析系統(tǒng)配置是功率器件特性分析的完整分析方案，包括高質(zhì)量儀器、電纜、測試夾具和軟件。提供7種配置，每種配置都具有快速檢查器件基本參數(shù)（例如擊穿電壓）的實時跟蹤模式和提取精密器件參數(shù)的*參數(shù)模式。參數(shù)曲線跟蹤儀配置的構(gòu)建塊法具有易于升級和客戶可重配置的優(yōu)點以滿足不同測試需求。

Keithley 自動參數(shù)測試系統(tǒng)Keithley 參數(shù)分析系統(tǒng)吉時利PCT 參數(shù)分析系統(tǒng)配置 主要特點及優(yōu)點

可設(shè)定的功率大小:

從200V 到3kV

從1A 到100A

寬度動態(tài)范圍:

從uV 到3kV

從fA 到100A

電容-電壓測量方式:

±400V多頻C-V

200V斜坡速率C-V

20V極低頻（VLF）C-V

直流或脈沖I-V至50µs

高電壓和高電流通道具有24bit精密模數(shù)轉(zhuǎn)換器和18bit高速（1µs）數(shù)字轉(zhuǎn)換器

測試管理軟件包括用于實時控制的跟蹤模式和用于參數(shù)提取的參數(shù)模式

當今的模擬和功率半導(dǎo)體技術(shù)（包括 GaN 和 SiC）要求進行參數(shù)測試，以便最大限度提高測量性能、支持廣泛的產(chǎn)品組合以及最大限度降低測試成本。40 多年來，吉時利已經(jīng)在關(guān)鍵應(yīng)用中解決了這些問題以及其他重要挑戰(zhàn)，這些應(yīng)用包括工藝整合、工藝控制監(jiān)控、生產(chǎn)芯片分類（例如，晶片驗收或已知的良好芯片測試），以及可靠性。

帶有 KTE 7 軟件的吉時利 S530 系列參數(shù)測試系統(tǒng)提供高速、*靈活的配置，能夠隨著新應(yīng)用的出現(xiàn)和需求變化而不斷發(fā)展。S530 可進行高達 200 V 的測試，而 S530-HV 可以在任何引腳上進行高達 1100 V 的測試，與競爭解決方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接對接探測器和原有探頭卡重新使用的可選系統(tǒng)測試頭，支持汽車標準 IATF-16949 要求的系統(tǒng)級 ISO-17025 引腳校準，以及從原有的 S600 和 S400 系統(tǒng)進行遷移的簡單、最順暢的路徑，具有完整的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性并提高了速度。

540 參數(shù)測試系統(tǒng)是一個全自動化的 48 引腳參數(shù)測試系統(tǒng)，適用于高達 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級測試。*集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進行優(yōu)化，可以在單次測試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S500 集成式測試系統(tǒng)是高度可配置的、基于儀器的系統(tǒng)，適用于器件、晶片或暗盒級半導(dǎo)體檢定。S500 集成式測試系統(tǒng)基于我們經(jīng)過驗證的儀器，提供創(chuàng)新的測量功能和系統(tǒng)靈活性，并且根據(jù)您的需求可進行擴展。有的測量能力結(jié)合強大而靈活的自動化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場上其他同類系統(tǒng)無法提供的廣泛應(yīng)用和功能。

S530 功能

靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置

行業(yè)標準的 KTE 軟件環(huán)境

觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測試

通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進行全自動系統(tǒng)級校準符合最新質(zhì)量標準

KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統(tǒng)正常運行時間和提高數(shù)據(jù)完整性

內(nèi)置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護可大程度地減少代價高昂的系統(tǒng)停機或?qū)斐蓳p壞

符合 ISO-17025 校準要求并支持 IATF-16949 合規(guī)性

提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S540 功能

在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施

在最高達 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳

在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能

基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進行測試開發(fā)和快速執(zhí)行

非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用

通過大程度減少測試時間、測試設(shè)置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能

S500 功能

全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測量。

適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。

利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測試。

適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。

開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)*適用于您的 DUT。